牛尾電機(jī)正在開發(fā)的曝光用LED光源，在“Semicon Japan 2011”(2011年12月7~9日，幕張Messe會(huì)展中心)上參考展出。有望取代之前使用的汞(Hg)燈。該公司表示，準(zhǔn)備開拓能發(fā)揮LED光源特點(diǎn)的應(yīng)用。

　　據(jù)牛尾電機(jī)介紹，展示的曝光用LED光源，其本身的開發(fā)已經(jīng)完成，目前正在探索用戶的使用方法。該LED光源可輸出相當(dāng)于汞燈g線(波長為436mm)、h線(波長為405mm)和i線(波長為365mm)波長的光。目前的光強(qiáng)度相當(dāng)于輸出功率750W的汞燈。該LED光源的特點(diǎn)是，可改變汞燈中固定的g線、h線和i線的光強(qiáng)度比。另外，雖然與之前使用的汞燈相比初期成本較高，但由于使用壽命長，所以可降低運(yùn)行成本(Running Cost)。此外，其發(fā)熱較低，可實(shí)現(xiàn)節(jié)能省空間化。牛尾電機(jī)表示，將開拓能發(fā)揮這些特點(diǎn)的應(yīng)用。